장비명(한글) : 마스크정렬기/미세정렬패턴장치

장비명(영문) : Mask Aligner

위치 : 천연물 소재개발실

설명 : 반도체/Display 등의 공정 중에서 Wafer위에 PR이라는 Polymer 물질을 도포하여 Pattern의 원판 역할을 하는 Mask와 정렬을 한 후 자외선을 투과시켜 미세회로를 구현하는 장치