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제목
마스크정렬기/미세정렬패턴장치
2018-11-19 09:32:51
카테고리
특허개발
작성자
피부생명공학센터
장비명(한글) : 마스크정렬기/미세정렬패턴장치
장비명(영문) : Mask Aligner
위치 : 천연물 소재개발실
설명 : 반도체/Display 등의 공정 중에서 Wafer위에 PR이라는 Polymer 물질을 도포하여 Pattern의 원판 역할을 하는 Mask와 정렬을 한 후 자외선을 투과시켜 미세회로를 구현하는 장치
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